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Die elastischen, elektrischen und thermodynamischen Eigenschaften von Wasserstoff (H) in dünnen epitaktischen Niobschichten wurden in dieser Arbeit zum ersten Mal systematisch untersucht. Es wurden mittels Molekularstrahlepitaxie Nb Schichten mit
Orientierung (110) auf Saphir a-Plane bzw. (100) auf r-plane hergestellt. An den Schichten im Dickenbereich von 12 bis 500 nm wurde die isotherme H-Löslichkeit bei verschiedenen Temperaturen gemessen. Die H-Konzentration wurde indirekt über die
Gitterexpansion mittels in situ Röntgenstreuung bestimmt und danach mittels Reflexionsexperimenten mit Neutronen kalibriert. Aus den gemessenen Löslichkeitsisothermen wurden Parameter wie Lösungsenthalpie, Lösungsentropie, die
kritische Temperatur für a-a' Phasenumwandlung bzw. die H-H und H-Metall Wechselwirkung festgestellt. Der Einfluß der Schichtdicke, Kristallorientierung und der Haftung des Substrates auf die thermodynamischen bzw. die elektrischen
Eigenschaften wird dargestellt und diskutiert.
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