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Autor:  

Slaby, Ralf

Titel:  

Grundlegende Untersuchungen zur Steuerung und Reaktionskinetik von NH3- und N2/H2-Plasmen


Dissertation 
URN:  urn:nbn:de:hbz:294-34982
URL:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SlabyRalf/diss.pdf
Format:  application/pdf (7.7 M)
Kommentar:  Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik. Tag der mündlichen Prüfung: 2012-04-27

Inhaltsverzeichnis
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SlabyRalf/Inhaltsverzeichnis.pdf
Format:  application/pdf (36.8 k)

Zusammenfassung
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SlabyRalf/Zusammenfassung.pdf
Format:  application/pdf (29.8 k)

Schlagworte:  Plasma; Reaktionskinetik; Ammoniak; Stickstoff; Wasserstoff

Inhalt der Arbeit: 

Ammoniakplasmen finden in der Halbleiterindustrie Anwendung zur Erzeugung von Passivierungs- und Anti-Reflektionsschichten für Solarzellen. Eine weitere wichtige Anwendung betrifft die biokompatible Funktionalisierung von Oberflächen. Aufgrund der Umweltunverträglichkeit von Ammoniak soll untersucht werden, ob ein Ersatz durch Wasserstoff-/Stickstoff-Gasgemischen möglich ist. In dieser Arbeit werden NH3- sowie N2/H2-Gasgemischplasmen massenspektrometrisch untersucht. Die Plasmadichte wird mittels einer Langmuirsonde bestimmt. Die Plasmen werden durch eine HF-angeregte, induktiv gekoppelte Plasmaquelle erzeugt. Die Plasmazusammensetzung in Abhängigkeit von Druck, Leistung und Mischungsverhältnis soll Aufschluss über die Reaktionskinetik geben. Der Schwerpunkt liegt hierbei auf den zeitmodulierten Plasmen.


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