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Autor:  

Schwefel, Roland

Titel:  

Stationäre und gepulste induktiv gekoppelte Plasmen : Diagnostik und Deposition von Diamantschichten


Dissertation 
URN:  urn:nbn:de:hbz:294-29537
URL:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SchwefelRoland/diss.pdf
Format:  application/pdf (5.9 M)
Kommentar:  Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik. Tag der mündlichen Prüfung: 2010-07-02

Inhaltsverzeichnis
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SchwefelRoland/Inhaltsverzeichnis.pdf
Format:  application/pdf (43.2 k)

Zusammenfassung
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SchwefelRoland/Zusammenfassung.pdf
Format:  application/pdf (49.6 k)

Schlagworte:  Plasma; Diamant; Langmuir-Sonde; Massenspektroskopie; Modellierung

Inhalt der Arbeit: 

Diese Arbeit zeigt einen planaren, induktiv gekoppelten 27,12 MHz HF-Plasma-Reaktor mit Faraday-Abschirmung, geeignet zur Deposition von Diamantschichten mittels Ar/H2/CH4-Plasmen.

Die abgeschiedenen Diamantschichten werden mittels Lichtmikroskopie, Rasterelektronenmikroskopie und Ramanspektroskopie analysiert.

Es wird gezeigt, wie stationäre und gepulste Plasmen mittels Langmuirsondendiagnostik, Energie- und Massenspektroskopie, sowie Emissionspektroskopie im sichtbaren Wellenlängenbereich diagnostiziert werden können.

Die Energie- und Massenspektroskopie liefert Neutralteilchendichten und Ionenflüße. Gastemperaturen werden über Molekülrotationsbanden und Dopplerverbreiterung von He-Linien bestimmt.

Die elektrischen Parameter (Strom, Spannung und Phasenwinkel) der HF-Einkopplung werden ermittelt.

Eine Elektrodynamik- und Hydrodynamiksimulation liefert 2-D Plasmaparameter für stationäre Argon- und Heliumplasmen.

Die Gasphasenzusammensetzung des Diamantpositionsplasmas wird modelliert.


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