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Autor:   Kaczor, Markus
Titel:  

Entwicklung und Anwendung einer Thomson-Lichtstreu-Diagnostik für speziesreiche Molekülgas-Plasmen


Dissertation 
URN:  urn:nbn:de:hbz:294-8201
URL:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/KaczorMarkus/diss.pdf
Format:  application/pdf (1.6 M)
Kommentar:  Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie. Tag der mündlichen Prüfung: 2003-06-02

Inhaltsverzeichnis
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/KaczorMarkus/Inhaltsverzeichnis.pdf
Format:  application/pdf (49.7 k)

Zusammenfassung
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/KaczorMarkus/Zusammenfassung.pdf
Format:  application/pdf (87 k)

Schlagworte:  Inkohärente Streuung; Titan-Saphir-Laser; ICP; Niederdruckplasma; Plasmadiagnostik

Inhalt der Arbeit: 

Ziel der vorliegenden Arbeit war der Aufbau und die Weiterentwicklung einer Thomson-Lichtstreu-Diagnostik an einer induktiv gekoppelten GEC-RF-Referenz-Zelle zur Untersuchung der Elektronenkomponente reaktiver RF-Plasmen mit typischen Elektronendichten von 10^17 m^(-3) - 10^18 m^(-3). Hierzu wurde eine Vielkanal-Photonenzähltechnik eingesetzt, die es erlaubt, den zeitlichen Signalverlauf des Streulichtes in acht spektralen Kanälen durch Akkumulation vieler Einzelmessungen (Größenordnung: 106) in einem einzelnen Multichannel Scaler gleichzeitig zu registrieren.
Als Lichtquelle diente ein kontinuierlich abstimmbarer frequenzverdoppelter Ti:Saphir-Laser (430 nm - 480 nm).
Erste Messungen der Elektronendichte und der Elektronentemperatur mittels inkohärenter Thomson-Streuung an reaktiven Ar/CH4-RF-Plasmen und Vergleichsmessungen mit einer Langmuir-Sonde wurden durchgeführt.


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