Dobrinets, Inga A.

Elektronische Mikrostrukturen aus amorphem Kohlenstoff, hergestellt durch fokussierte Ionenstrahlimplantation auf Diamant

Auf dem hochwertigen CVD polykristallischen Diamant sind Amorpher Kohlenstoff-Diamant- Amorpher Kohlenstoff Heterostrukturen mittels fokussierter Ionenimplantation (100 keV Ga⁺, 200 keV Mn⁺⁺ und 200 keV Dy⁺⁺, Ionenstrahl um ∅ 100 nm) hergestellt worden. Für ihre strukturelle Charakterisierung wurden AFM Profilometrie und Raman Spektroskopie eingesetzt. Elektrische Eigenschaften sowie Geometrieeinfluß, Dosis- und Temperaturabhängigkeit sind umfassend untersucht worden. Die hergestellten Strukturen zeigen zu den n-i-n- Dioden ein analoges Verhalten. Ein mögliches Erklärungsmodel wird vorgestellt.

Amorphous Carbon-Diamond-Amorphous Carbon heterostructures have been fabricated on high quality polycrystalline CVD diamond films using fine-focus ion implantation (100 keV Ga⁺, 200 keV Mn⁺⁺ and 200 keV Dy⁺⁺; ion beam ∅ 100 nm). The structures have been characterized by AFM-Profilometry and Raman spectroscopy. Systematic studies of the electrical properties, dose- and temperature dependencies have been carried out. The operation of the structures has been found to be similar to that of n-i-n unipolar diodes on diamond. A band-model of the ion-implanted Amorphous Carbon-Diamond-Amorphous Carbon heterostructures has been proposed.