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Autor:  

Deilmann, Michael

Titel:  

Silicon oxide permeation barrier coating and sterilization of PET bottles by pulsed low-pressure microwave plasmas


Dissertation 
URN:  urn:nbn:de:hbz:294-23472
URL:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/DeilmannMichael/diss.pdf
Format:  application/pdf (6.4 M)
Kommentar:  Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik. Tag der mündlichen Prüfung: 2008-08-14

Inhaltsverzeichnis
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/DeilmannMichael/Inhaltsverzeichnis.pdf
Format:  application/pdf (45.5 k)

Zusammenfassung
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/DeilmannMichael/Zusammenfassung.pdf
Format:  application/pdf (65.3 k)

Schlagworte:  Permeation; Mikrowellenplasma; Kunststoffflasche; Plasmadiagnostik; Massenspektrometrie

Inhalt der Arbeit: 

Die Dissertation beschreibt die erfolgreiche Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmasterilisations- und Barrierebeschichtungsprozesses für PET-Flaschen. Dazu werden gepulste mikrowellenangeregte Niederdruckplasmen innerhalb einer PET-Flasche gezündet. Die Plasmaeigenschaften während der beiden Prozessschritte werden detailliert analysiert und orts- bzw. zeitaufgelöst betrachtet. Die Barrierebeschichtung basiert auf der Abscheidung von Siliziumoxidschichten im Flascheninneren mit Hilfe eines gepulsten Hexamethyldisiloxan-Sauerstoffplasmas. Die Korrelation der Ergebnisse der Schichtanalyse und der Plasmadiagnostik während der Schichtabscheidung erlaubt ein modellhaftes Verständnis des Abscheideprozess der Barriereschichten. Darüber hinaus wird ein grundlegendes Kriterium zur gepulsten Schichtabscheidung innerhalb dreidimensionaler Objekte auf der Basis der Verweildauer der Prozessgase definiert.


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