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Autor:  

Böke, Marc

Titel:  

Lithium-Atomstrahl-Spektroskopie als Diagnostik zur Bestimmung von Dichte und Temperatur der Elektronen in Niedertemperaturplasmen


Dissertation 
URN:  urn:nbn:de:hbz:294-8663
URL:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/BoekeMarc/diss.pdf
Format:  application/pdf (2.9 M)
Kommentar:  Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie. Tag der mündlichen Prüfung: 2003-07-28

Inhaltsverzeichnis
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/BoekeMarc/Inhaltsverzeichnis.pdf
Format:  application/pdf (12 k)

Zusammenfassung
Datei:  http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/BoekeMarc/Zusammenfassung.pdf
Format:  application/pdf (36 k)

Schlagworte:  ICP; Gaselektronik; Plasmatechnik; Elektronendichte; Atomstrahl

Inhalt der Arbeit: 

In Niedertemperaturplasmen haben die Dichte und Energie der Elektronen hohen Einfluss auf chemische Reaktivität und Schichtabscheidung. Daher ist deren Kenntnis - insbesondere deren räumliche Verteilung und zeitliche Entwicklung - von fundamentaler Bedeutung. In dieser Arbeit wird mit der Lithium-Atomstrahl-Spektroskopie eine neue Diagnostik für Niedertemperaturplasmen vorgestellt und charakterisiert. Der Li-Strahl wird durch Stöße mit Elektronen angeregt. Die emittierten Linienstrahlintensitäten werden detektiert und ergeben im Vergleich mit einem Stoß-Strahlungs-Modell unter Berücksichtigung des Strahlungstransports die gesuchten Plasmaparameter. Die Diagnostik wird eingesetzt in einem induktiv gekoppelten Niedertemperaturplasma und mit Ergebnissen aus Langmuir-Sondenmessungen verglichen. Der Lithiumstrahl wird mit Hilfe von laserinduzierten Fluoreszenz-Messungen vermessen. Neben dem thermischen Lithium-Atomstrahl kommt ein gepulster, ablatierter Li-Strahl zum Einsatz.


Angaben des Autors:
E-Mail:  Marc.Boeke@rub.de
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